Như chúng ta đã biết, chỉ có một nhà sản xuất duy nhất trên thế giới có thể sản xuất bản in khắc EUV, đó là ASML của Hà Lan.
Và lý do duy nhất trên thế giới, điều này là do ASML sẽ có rất nhiều nhà sản xuất chính kết hợp với nhau, chẳng hạn như công ty quang học Đức Zeiss (Zeiss), sau đó là Cymer của Hoa Kỳ, và sau đó là Tập đoàn Tom Fast của Đức (TRUMPF ) và như thế.
ASML đã ràng buộc các nhà sản xuất này vào cỗ xe của mình thông qua đầu tư, mua lại, cổ phần, thành lập trung tâm nghiên cứu, v.v. và những nhà sản xuất này, có lẽ là nhà sản xuất duy nhất trên thế giới có thể sản xuất các sản phẩm này, vì vậy cuối cùng chỉ có ASML là có thể sản xuất bản in khắc EUV trên thế giới.
Tuy nhiên, gần đây, một chuỗi cung ứng quan trọng của ASML, đã chạy đến Thâm Quyến, Trung Quốc để xây dựng một nhà máy, công ty con ở Thâm Quyến của nó đã định cư tại Công viên Trình diễn Công nghiệp Baoan Sino-German (Châu Âu).
Nhà sản xuất này là Tập đoàn Tom Fast của Đức (TRUMPF), đây là công ty in khắc EUV của ASML, nhà cung cấp nguồn laser duy nhất trên thế giới.
Các sản phẩm TRUMPF trong bản in khắc EUV, quan trọng như thế nào? Trước tiên, hãy để tôi giải thích nguyên tắc của in thạch bản EUV, bạn sẽ hiểu.
Nói một cách đơn giản, nguyên tắc của kỹ thuật in khắc EUV tập trung vào ba hệ thống chính, hệ thống nguồn sáng EUV UV, hệ thống vật kính và hệ thống bảng.
Quy trình cụ thể là sử dụng tia laser để kích thích ánh sáng cực tím có bước sóng 13,5nm, sau đó sau khi hiệu chỉnh để tạo thành chùm ánh sáng có kiểm soát, sau đó chùm ánh sáng này được chiếu lên bảng mặt nạ quang, rồi chiếu qua vật kính. gương vào bàn phơi sáng, và cuối cùng là khắc mạch trên tấm wafer silicon được phủ chất cản quang.
Cách một trong những hệ thống nguồn sáng UV EUV thu được là bằng cách bắn phá một giọt kim loại thiếc (Sn) bằng tia laser CO2 công suất 30 kW, làm bay hơi nó thành plasma và cuối cùng thu được ánh sáng EUV bước sóng 13,5 nm.
Tia laser CO2 30 kW này được cung cấp bởi TRUMPF, là chiếc duy nhất thuộc loại này trên thế giới.
Đừng đánh giá thấp tia laser CO2 này, nó có 457.329 bộ phận, chiều dài cáp trong hệ thống lên tới 7.322 mét và trọng lượng là 17.090 kg, là một trong những thành phần cốt lõi quan trọng nhất trong quang khắc EUV.
Bây giờ TRUMPF chạy đến Trung Quốc để xây dựng nhà máy, ý định rất rõ ràng, đó là lạc quan về thị trường laser Trung Quốc, và thậm chí còn có tầm nhìn dài hạn hơn, lạc quan về thị trường in thạch bản Trung Quốc, tương lai có thể hợp tác với Trung Quốc để chế tạo in khắc EUV .
Trên thực tế, đã có hơn một chuỗi cung ứng ASML chạy sang Trung Quốc để xây dựng nhà máy, trước đó có KMWE và các nhà sản xuất khác cũng đến Trung Quốc để xây dựng nhà máy.
Theo xu hướng hiện tại, chúng ta có thể hy vọng một cách lạc quan rằng có thể không lâu nữa công nghệ in thạch bản của Trung Quốc sẽ có một bước tiến lớn, và thậm chí khối lượng in thạch bản EUV đầu ra, bạn có nghĩ vậy không?
